пирометры
новости

применение

механические принадлежности

электрические принадлежности

цифровые термометры

высокоскоростные пирометры

черное тело

инфракрасные камеры

документация и описания

пирометры micron

пирометры - главная страница


пирометры

Загрузить бланк условий применения

пирометры

Адрес: 105094, Москва, А/Я 10.
Тел.: (095) 365-47-88,
783-39-64
Факс: 366-62-83, 785-43-14
E-mail: diagnost@diagnost.ru




пирометры

IMPAC UV401 и UV401










Точные приборы измерения температуры поверхности и коэффициента отражения для эпитаксии на основе нитрида галлия (GaN)

Компания LumaSense, опытный лидер в области измерений химического осаждения из газовой фазы с использованием металлоорганических соединений (MOCVD), является поставщиком простого в эксплуатации и калибровке, надежного контрольно-измерительного оборудования.

  • Заслуженная репутация и известный брэнд в сфере производства полупроводников;
  • Полупроводниковая установочная камера 5000 +;
  • Установочная камера MOCVD 2000 - №1 в секторе промышленности;
  • Более 30 лет опыта в области приборостроения для MOCVD;
  • Надежная поддержка приложений и база данных по методологии;
  • Единственный точный пирометр в промышленности MOCVD, который также представлен в сфере калибровки источников;
  • Первый пирометр со встроенным рефлектометром для MOCVD, принцип работы которого основан на технологии пульсации – TR 100, запатентованной в 2001 году;
  • TR 100 устанавливает новые стандарты в промышленности, такие как и волоконнооптические датчики с длиной волны 950 нм.

ПРЕИМУЩЕСТВА

пирометры

Материал на основе нитрида галлия излучает менее 400 нм в ультрафиолетовом спектре, а усовершенствования коротковолновых ИК-датчиков позволяют измерять температуру эпитаксиального слоя.

  • Температурный контроль высокого уровня, недостижимый ранее;
  • Подтвержденная зависимость температуры от длины волны;
  • Широкий диапазон тем-ператур от 650 до 1150 °C;
  • Точная температура пластины;
  • Никаких остаточных колебаний, характерных для пирометров с компенсацией излучающей способности в ИК-спектре;
  • Точный прибор счета фотонов;
  • Никакой асимметрии данных из-за отсроченного взятия замеров между открытием и закрытием затвора.

СВОЙСТВА

  • Измерение и контроль температуры поверхности;
  • Два типа встроенных интерфейсов:
    • аналоговый выход для температуры в УФ-спектре;
    • RS485 с протоколом UPP;
  • Не нужно ждать полного оборота для завершения измерения;
  • Использование длины волн в УФ-спектре для измерения температуры нитрида галлия на пластинах;
  • Точное измерение коэффициента отражения частотой 500 Гц в режиме реального времен благодаря быстро пульсирующему источнику света (без использования медленных затворов);

Данные о линейке измерительных приборов LumaSense для MOCVD

IMPAC UV 401 и UV 401 устанавливают новый стандарт измерения температуры при MOCVD по всему миру. В первых трех поколениях приборов измерение температуры производилось посредством датчика коротковолнового ИК-спектра. В четвертом поколении приборов, IMPAC UV 401 и UV 401, было найдено решение для увеличения выхода при MOCVD путем измерения температуры поверхности пластины вместо традиционного метода измерения температуры подложки/подложкодержателя под пластиной. Это позволяет более точно контролировать температуру пластины, что имеет решающее значение для длины волны конечного изделия.

пирометры

В дополнении к УФ-пирометру TR 401 также оснащен лазерным рефлектометром 635 нм, позволяющим производить количественное измерение толщины и скорости роста слоя нитрида галлия во время наращивания путем сбора данных с интерференционных полос, образуемых растущим слоем.

Размеры

пирометры


НА ГЛАВНУЮ
пирометры

   © 2000-2013, ООО "ДИАГНОСТ"